연구 장비
세계를 선도하는 글로벌 기초과학 연구소
세계를 선도하는 글로벌 기초과학 연구소
장비명 | 나노 구조 제조 집속이온식각장치 (Dual Beam FIB System) |
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제조사 | FEI |
모델명 | Helios NanoLab G3 CX |
장비사용료 | 위탁 운영 |
활용 범위 | 분석 및 의뢰 |
상태 | 가동중 |
담당자명 | 위탁운영 |
연락처 | Tel:- / Email:- |
- 장비 구성
: Novel Field Emission Electron Optics for high current and high resolution imaging and analysis High resolution (field emission) Ion Optics
with fast high-volume milling capabilities Source lifetime : >1000 hours Voltage : up to 30kV Gas chemistry tech
- 상세 내용
: 수십 keV로 가속된 갈륨이온을 시료에 집속시킴으로써 나노 크기의 구조체, TEM 시편 등을 제작
※ 이용방법: 타기관 위탁서비스 운영
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(정산)