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연구 장비

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장비명 레이저 박막 증착장비 (Pulsed Laser Deposition Chamber)
제조사 다다코리아
모델명 개발장비
장비사용료 100,000/시간
활용 범위 분석 및 의뢰
상태 가동중
담당자명 김요한
연락처 Tel:054-279-8046 / Email:johnkim102@postech.ac.kr

장비 설명

- 장비 구성

   : 8" main Turbo pump Halogen Lamp Heater 4 target holder Carrousel XYZ and rotation motion of substrate holder


- 상세 내용 

   : 원하는 gas 환경에서 박막을 증착할 수 있는 장비. 

     Coherent 사의 KrF Excimer Laser를 이용하여 Target material을 ablation 시켜 기판위에 박막을 증착한다. 

이용 방법

  • 예약신청 클릭

  • 신청서 다운로드

  • Email 접수

  • 서비스 검토 및
    일정조율

  • 장비 사용

  • 서비스 완료
    (정산)

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한국연구재단
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